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[표준분석연구원] 표준분석연구원 연구장비 소개(HR-SEM)
등록인 관리자 등록일 2018. 2. 12 조회수 121
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표준분석연구원 연구장비 소개(HR-SEM)

 

 

  1. 장비명 : 고분해능 전계방사형 주사전자현미경 (HR FE-SEM)

High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope

 

  1. 도입 시기 : 2014년 2월

 

  1. 주요용도

: 주사전자현미경은 반도체, 유리, 금속, 고분자, 바이오 등 이·공계 연구 분야에서 가장 대표적인 범용 분석 장비로 고체 시료의 표면 이미지를 최대 80만 배 까지 확대하여 시료를 구성하는 요소, 형상, 사이즈 등을 선명하게 관찰할 수 있는 연구 장비이다.

 

  1. 원리 및 특징

: Cold Type의 Gun Electron Source로부터 발생되는 Electron Beam이 시료에 조사되면서 발생되는 다양한 전자를 이용하여 시료 표면의 미세한 구조를 관찰할 수 있고, 정량/정성적으로 성분분석이 가능하며, BSE(Back Scattered Electron)이미지를 관찰할 수 있는 장비이다.

 

  1. 분석 기능

- 금속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 및 성분분석

- 미생물과 금속, 재료 등 미세입자(Powder)의 표면 미세구조 및 형상 관찰

- 동·식물 세포의 미세구조 관찰

- 반도체 등의 박막 두께 측정

 

  1. 제조사 및 모델명

  1. 주요사양

  1. 분석 예시

 

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